如果黑色表面有任何變化,請參考設備制造商的說(shuō)明。
注1:黑板溫度計與黑色標準溫度計的不同之處在于前者固定在絕緣支架上。測量的溫度相當于在低熱導率基底上涂有黑色或深色涂層的暴露模板表面的溫度,淺色涂層模板的暴露表面的溫度通常較低。
注2:測試模板表的溫度取決于許多因素,包括吸收的輻射總量、模板的熱導率、模板和空氣之間的熱導率以及模板和模板框架之間的熱導率。因此,模板的表面溫度無(wú)法預測。
注3:在典型的暴露試驗條件下(非高輻照度試驗),黑色標準溫度計測得的溫度比黑板溫度計測得的溫度高約5℃。在高輻照度試驗條件下,兩者之間的溫差會(huì )增大。
注4:黑色標準溫度計也稱(chēng)為絕熱黑板溫度計。黑板溫度計也稱(chēng)為非絕熱黑板溫度計。
為了在曝光過(guò)程中測量模板表面的溫度范圍,并更好地控制設備的曝光條件,除了黑板溫度計或黑色標準溫度計,還建議使用類(lèi)似黑色標準或黑板溫度計設計的白色標準溫度計或白板溫度計。為此,使用抗老化白色涂層,其反射波長(cháng)為300納米至1000納米的至少90%的輻射和波長(cháng)為1000納米至2000納米的至少60%的輻射。
聚威儀器有限
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